单晶炉用氩气标准_单晶炉

本实用新型单晶炉氩气流量控制装置,用于直拉式单晶炉,包括带进气口、出气口的通气管道、质量流量控制器以及开关阀,各部件与通气管道间采用卡套式连接,该控制装置设有

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