上海中微半导体车间_上海中微半导体公司

项目概况:中微半导体设备(上海)有限公司洁净车间(以下简称“车间”)使用一台中央空调给车间送新风和两台组合式空调箱内循环送风,现在空调箱内安装电热加湿器以提高空气

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