半导体晶圆清洗_半导体晶圆清洗机

对所述晶圆进行一冲洗步骤,该步骤中可采用纯净水或去离子水对所述晶圆进行冲洗,进行时间为5 10分钟。由此可见,采用本发明的半导体晶圆清洗方法对晶圆上的EKC残留液进

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