半导体的再生加工_半导体加工工艺

平整度:由于使用最顶尖的设备,新美光处理过的再生晶圆具有非常高的平整度。 · 新美光再生晶圆片有高度局部平整需求,与局部平整度,因此可供光刻应用。 · 可轻易达到 .1

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