半导体金属线宽是什么_半导体线宽

从器件来讲,主要是指栅极长度(一般,栅极长度小于栅极宽度)。 从加工精度来讲,主要是指套刻精度(最小间距);最小线宽是引线孔尺寸。 因为并无统一的看法,仅供参考。 本回答

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