半导体器件制作工序_半导体器件制作

适应未来半导体工艺技术发展的需求。% |, w* u; r' z' e0 Y) z0 @4 r Sentaurus Device 介绍 随着集成电路制程技术的长足发展,集成化器件的特征尺寸已由超深亚微米逼近nm级层

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