半导体制造工艺仿真_半导体制造工艺

半导体器件和半导体集成电路的制造工艺及 其基本原理 的一门课程。本课程的目的是使学生对 微电子关键工艺技术及其原理有较为完整和系统的概 念,并具有初步工艺设计能

第1章_半导体工艺及器件仿真工具Sentaurus_

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