vcsel衬底_vcsel

本发明提供一种高速VCSEL激光器外延结构,包括GaAs衬底,在GaAs衬底上依次采用MOCVD沉积GaAs缓冲层、N型掺杂的DBR、有源层、氧化限制层、P型掺杂的DBR和欧姆

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