光刻机 透镜调焦_光刻机

一种用于光刻机的调焦调平装置及方法,所述装置的测量光路分布于投影物镜光轴两侧,由照明单元、投影单元、成像单元及探测单元构成,照明单元由光源、透镜组及光纤组成;

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