193nm光刻机最高折射率_193nm光刻

台积电,三星都在三星都在22nm,28nm这个节点卡了很久,想必是遇到193nm ArF的极限 正弦最高做到1,而在物镜和晶圆之间加一层高折射率液体,比如水,NA就到了1.33。(应该

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