veeco离子刻蚀机_等离子刻蚀机

进行离子刻蚀时候,一图 2控制系统原理示意图般真空压力保持在 1.0×10 Pa。此外真空室外壁 -2有加热系统进行加温。 2 VEECO离子源气体 1离子源是使中性原子或分子电离

离子束溅射与刻蚀系统科研装备研制项目通过

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