光刻机基础知识_光刻机

光刻机基础防微振设计的新尝试 【摘要】桩基一般未直接用于精密仪器基础的防微振设计而用于强振时的主动隔振。本文考虑桩土共同作用提高地基刚度和地基阻尼比减小变

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