国产7nm蚀刻机好用?_7nm蚀刻机

现阶段半导体产业能量产的最先进的工艺节点是7nm,台积电全面领先。台积电的7纳米 中微在蚀刻机领域有了一席之地,但是在先进制程中最为关键的光刻机,尤其是极紫外光

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