极紫外光刻(euv)设备_euv极紫外光刻机

步进式光刻机,步进式扫描光刻机、再到浸没式光刻机、及今天已经进入市场且最先进的极紫外光刻机(EUV光刻机)。需要特别指出的是,现在全球也只有ASML一家设备商能为台

【深度】巨头们追捧的新宠:EUV 光刻真能够拯

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传中芯国际向ASML预订一套光刻设备,售1.2亿

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能是新锐光刻机厂商了,荷兰ASML表示,EUV(极

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