led芯片ito刻蚀_led芯片

本文针对GaN蓝光LED芯片制作流程中ITO的侧蚀现象,进行了改善研究。1实验方案本文针对LED制造流程中,蒸镀到外延片上的ITO膜,用湿法刻蚀时,对容易导致其侧蚀的异常现

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