SiO2 BOE蚀刻速率_阿里巴巴sio2

氟化铵与二氧化硅反应很慢,刻蚀二氧化硅可用BOE蚀刻液。主要是BOE液体中的氢氟酸刻蚀二氧化硅,氟化铵补充氢氟酸中消耗的氟离子。通过氟化铵与氢氟酸的比例(5:1~50

C4F8%2fAr等离子体蚀刻蚀SiO2多尺度研究.p

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