极紫外光刻技术_紫外光刻技术

193nm技术被国外封锁的这么严厉,而我们没有多少技术储备以及优势,以至于光机和光电两所在开发下一代光刻设备上毫无建树。那么是否能够直接上极紫外光刻,甩来193nm光

台积电公司订购as文明用语公司极紫外光刻系

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02专项极紫外光刻关键技术研究项目顺利完成

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光电所承担的国家02专项项目极紫外光刻关键

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未来:半导体制程技术决定?_服务器技术应用_太

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三星宣告11nm新工艺,未来将采用EUV极紫外光刻技术

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极紫外光刻_极紫外光刻机_极紫外光刻技术|图

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