本人想用掩膜进行光刻制作模板,最小精度要求能达到2um,需要套刻,套刻的对准精度要求为1um左右,请问各位虫友有谁知道哪个公司或者科研单位可以做,感激不尽! 返回小木虫
光刻工序中套刻精度的控制方法
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面向大规模生产的EUV光刻性能:现状及展望 -
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