icp 刻蚀 干法还是湿法_icp干法刻蚀

湿法腐蚀见过做过1um的,而且是腐蚀很薄的金属。 干刻最细,10nm以下。 干法是用具体什么方法?反应离子刻蚀还是什么的?能给个文献吗?具体点? 相关版块跳转 我要订阅楼

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