干法刻蚀的缺点_干法刻蚀

风速及其均匀度都会影响刻蚀。本文对金属铝干法刻蚀设备进行试验并取得数据,运用综合分析法找出干法刻蚀的最佳改善方法。重点针对干法刻蚀设备中的工艺缺陷进行分析

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