化学刻蚀_化学刻蚀法

【摘要】:金属辅助化学刻蚀是近些年发展起来的一种各向异性湿法刻蚀,利用该方法可以制备出高长径比的半导体一维纳米结构。本文综述了金属辅助化学刻蚀法可控制备硅纳

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