5纳米刻蚀机_5纳米等离子刻蚀机

而纳米级别的刻蚀则是包括视频中所提到的ICP,还有FIB(聚焦离子束)刻蚀,同样针对不同材料而言采取不同的刻蚀手段,ICP相对来说用的还狭窄一些,它的气源决定了他所能刻蚀

赞!5纳米芯片制造装备,打破德美垄断,中国突破

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振奋!中微半导体国产5纳米刻蚀机助力中国芯

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中国芯片打破西方垄断,国产5纳米刻蚀机来助力

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