化学气相沉积原理_化学气相沉积原理图

化 学 气 相 沉 积 原 理 与 设 备 复 习 题 hailang8591上传于2011-10-31 1. 名词解释( 5 小题,每题 4 分,共 20 分) 1) Chemical Vapor Deposition ( CVD ) : 是指在一定的温度下,利

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