屏幕流程薄膜黄光刻蚀_黄光刻蚀

摘要:本文对ITO导电膜的传统刻蚀工艺-黄光刻蚀工艺和较新型刻蚀工艺-激光刻蚀工艺的原理和流程进行了对比研究,指出了激光刻蚀工艺相对黄光刻蚀工艺的明显优势。 注册

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