硅片的电阻率测试方法_硅片电阻率

材料的电阻率为ρ,当电流如图示方向流过时,若L=w,这个薄层的电阻称为方块电阻,一般用R□表示,单位为Ω/□。3.硅片电阻率的测试1硅片电阻率的测试一、实验目的1.了解半

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