薄膜材料的特点_薄膜材料

第四章新型半导体薄膜材料本章主要介绍硅基非晶半导体薄膜材料的结构特点、制备方法、光学和电学特性以及这些材料的研究现状。同时还将介绍最近发展起来的微晶Si薄膜

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