化学气相沉积制备薄膜_化学气相沉积

内容提示: 实验二等离子体增强化学气相沉积制备薄膜实验目标 1.了解等离子体增强化学气相沉积(PECVD)制备薄膜的基本原理。 2.了解等离子体增强化学气相沉积(PECVD)

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