薄膜制备电镀法_流延法制备薄膜

电镀法3.2.1物理气相沉积法物理气相沉积(PVD)方法作为一类常规的薄膜制备手段被广泛地应用于纳米薄膜的制备与研究工作中,PVD包括蒸镀、电子束蒸镀、溅射等。分子束

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