薄膜制备_石墨烯薄膜制备方法

其中有导电膜层以及绝缘膜层,这些膜层的制备对于集成电路的制造非常重要。制作膜层的方法有很多,不同作用、不同位置的薄膜制作方法不同。常用的方法有氧化、化学气相

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