非晶硅薄膜电阻率_非晶硅薄膜电池

.薄膜的电阻温度系数随薄膜自身电阻率的增大而增大,但随环境温度的升高而降低。关键词:(等离子体增强化学气相沉积;掺磷非晶硅薄膜;电阻率;电阻温度系数中图分类号: 340

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