SOI衬底_soi是什么意思

本发明提供一种SOI衬底,该SOI衬底具备有当使用玻璃衬底等耐热温度低的衬底时也可以实用的耐性的SOI层。另外,本发明还提供使用这种SOI衬底的半导体装置。当对具有绝

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