sihcl_sihcl3中硅的化合价

辽宁师范大学硕士学位论文SiHCl 3 /H 外延生长单晶硅反应机理的理论研究姓名:张旭申请学位级别:硕士专业:物理化学指导教师:孙仁安;韩克利0040501!坚!竺±竺兰兰苎兰曼竺

前面不是说Si和盐酸反应生成SiHCl和_高一化

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