ecth蚀刻_ecth

目前在微結構的製造技術上以蝕刻(Ecth)技術、光刻鑄模(LIGA)技術、薄膜(ThinFilm)技術和微細機械加工等四種技術為主,前三種方式是以消去材料為主的製程技術,這些技術在

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