虽然多家厂商已透过TSV成功开发3D IC,并改善诸多问题,但TSV仍面临到高成本的课题,有鉴于此,Veeco改变过去利用CMP与干式蚀刻的方式,而采用湿式蚀刻制程来达成TSV。
湿蚀刻制程降低TSV成本 更易实现3D IC
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