最早的蚀刻技术是利用特定的溶液与薄膜间所进行的化学 反应来去除薄膜未被光阻覆盖的部分,而达到蚀刻的目的,这种 蚀刻方式也就是所谓的湿式蚀刻。 因为湿式蚀刻是利用
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