lam 沉积设备_lam设备

该设备必须有能力与300mm晶圆尺寸的铜沉积机台(LAM Sabre Extreme)配套使用,能够在线检测铜沉积液中加速剂(Accelerator)、抑制剂(Suppressor)、平衡剂(Leveler)、铜离

Lam\/KLA收购案失败,半导体设备商只能谈合作

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第七章 海洋沉积体系及沉积相.pdf

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