对于φ300mm Fab生产制程,尤其是光刻制程区,严格控制洁净室环境中NH3和SO2的含量是非常重要的,先进化学增幅光阻对分子碱基,通常是氨气非常敏感,因为成像化学品依赖
中芯国际将建300mm晶圆厂 - 半导体
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GlobalFoundries扩增300mm晶圆厂产能图片1
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意法半导体300mm晶圆厂建设成谜?CEO官方
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MD芯片中国造?GlobalFoundries将在重庆建300mm晶圆厂
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格罗方德在重庆建12寸晶圆厂 生产300mm芯片
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英特尔大连300mm晶圆厂址探访(组图)_台式电
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