或者说分辨率能达到多少? 【中国国产的光刻机最小制程】中国目前国产的光刻机最小制程是90纳米。用90纳米的升级到65纳米不难。但是45纳米就是一个技术台阶了。45
[视频]中国32纳米光刻机 尼康光刻机 中国光刻机
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国产光刻机达到几纳米
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国产光刻机达到几纳米
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光刻机\/紫外曝光机
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光刻机领域国内接近世界先进水平,9nm线宽光
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厉害了:中国研究团队自主研发首套90纳米高端
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《中国制造2025》设定IC设备国产化目标,五大
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