注意,到目前为止,所有量产的65nm以下制程的芯片,都是用的这个193nm浸润式光刻机。包括英特尔、三星、台积电、台联电、Global Foundry,还有中国大陆的中芯国际、华宏
中芯国际进口ASML EUV光刻机 能否按时收获
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中芯国际后,又一中国芯独角兽4.6亿拿下光刻机
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中芯国际明年将商用14nm工艺,将用10年时间闯
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一台机器售价7.7亿!中国大手笔进口,这两个国家
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