沉积系统镀膜【相关词_ 沉积系统镀膜机】

从而实现化学反应和分子沉积成膜。可以制备碳化硅/氮化硅/氮碳化硅/二氧化硅/非晶硅/氧化铝等多种薄膜,可在半导体和光伏应用。 ● 镀膜:SiNx, SiO2, Al2O3, SiC,SiCxNy, S

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