大宗特种气体供应系统【相关词_ 大宗气体】

集成电路芯片厂中所使用的气体按用量的大小可分为二种,用量较大的称为大宗气体(Bulk gas),用量较小的称为特种气体(Specialty gas)。大宗气体有:氮气、氧气、氢气、氩气和

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