在 4个样品上制作 MIS(金属 -绝缘 -半导体 )结构 ,通过测试 InSb MIS结构的 CV特性来评价 InSb钝化体系的电学性能 。 CV测试设备采用 MDC公司的 4192A。首先对 InSb衬底
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