半导体制冷温度【相关词_ 半导体制冷温度控制】

本半导体制冷温度控制系统设计以单片机为核心,采用PID控制原理对整个控制系统进行偏差调节,从而使被控变量的实际值与工艺要求的预定值一致。采用PWM(脉冲宽度调制)

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