沈阳芯源微电子设备有限公司研制的8英寸涂胶显影机得到广泛地应用后,又研制出了国内首台12英寸涂胶显影机;沈阳仪表科学研究院自主研发出了十二英寸芯片自动划片装备
轨道式匀胶显影机
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