涂胶显影机运转原理【相关词_ 涂胶显影线原理】

目前,在半导体制造时,需要对硅片进行显影,在显影时用到的涂胶显影机如图1所示,其工作原理如下:首先,硅片I被传送到位于托盘3中心位置的吸盘2上,当硅片I的中心位直与吸盘2

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