气相外延【相关词_ 气相外延生长】

气相外延是一种单晶薄层生长方法。气相外延广义上是化学气相沉积的一种特殊方式性质:在气相状态下,将半导体材料淀积在单晶片上,使它沿着单晶片的结晶轴方向生长出一层

气相外延_百科_搜搜钢

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【图】金属有机化合物气相外延基础及应用 陆

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