蓝宝石衬底清洗工艺【相关词_ 蓝宝石衬底清洗】

本发明要解决的技术问题是提出一种比较完善的蓝宝石衬底清洗方法,实现对蓝宝石衬底的完美清洗。经过该方法清洗的蓝宝石衬底表面无氧化层、无表面损伤和亚表面损伤层

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