硅外延设备【相关词_ 硅外延片】

外延设备 . 6 1.3本文主要内容和工作步骤 . 8第二章碳化硅外延石墨烯生长机理与工艺 . 9 2.1碳化硅外延石墨烯 . 9 2.1.1碳化硅结构与分类 . 9 2.1.2碳化硅制备石墨烯原理 . 10 2

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