芯片键合的方法【相关词_ 芯片键合】

[0029]本实施方式用于制作高温光纤压力传感器的蓝宝石压力敏感结构,其原理是蓝宝石芯片A7-1与具有凹腔的蓝宝石芯片B7-2采用键合形成压力敏感结构(见图4),由于蓝宝石材

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