晶圆机器人【相关词_ 上银晶圆机器人】

【专利摘要】本发明为一种晶圆搬运机器人,其中包含:驱动一立柱运行的滚珠螺杆及线性滑轨;由该滚珠螺杆的螺杆的中心延伸一条延伸线,由该线性滑轨的滑轨的中心延伸一条

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